هنگامی که فیلتر روغن هیدرولیک کار می کند، روغن آلوده تحت اثر مکش خلاء در فشار اتمسفر خارجی از طریق ورودی وارد بخاری می شود، روغن گرم شده وارد فیلتر اولیه می شود، ناخالصی های ذرات بزرگ فیلتر شده و سپس روغن وارد آب می شود. جداکننده، جداکننده خلاء، و از طریق دستگاه واگرایی ویژه جریان می یابد.
دستگاه واگرا سطح زیادی را در واحد حجم روغن ایجاد می کند و روغن آلوده را در معرض خلاء با رطوبت نسبی بسیار کم قرار می دهد و در نتیجه آب، هوا و گازها را از روغن خارج می کند. گاز مخلوط حاصل از تبخیر بخار آب و گاز از طریق مخزن آب و خنک کننده به مایع تبدیل می شود و گاز باقی مانده توسط پمپ خلاء استخراج می شود.
از بین بردن رطوبت روغن به داخل فیلتر ریز پمپ می شود تا ناخالصی های ذرات از بین برود، یعنی برای تصفیه روغن، برای تکمیل یک فرآیند تصفیه، با توجه به میزان محتوای آب، باید تکرار شود تا آب به طور کامل حذف شود.
